0.1μm超小型粒子計數器在半導體芯片制造環境中的應用

0.1μm超小型粒子計數器在半導體芯片制造環境中的應用在半導體芯片制造過程中，對生產環境的潔凈度要求高，必須禁止因粉塵顆粒、工藝偏差等因素造成晶體短路或斷路，

控制凈化環境下的作業現場中超微小顆粒物數量，

以保證產品質量和提升產品良率，特別是對于0.1μm粒子的檢測至關重要。

 

 

在半導體芯片生產過程中，粒子計數器主要應用于：1、 Fab廠的制造工藝檢測：在晶圓的光刻、涂膠顯影、刻蝕等多個工藝環節中，使用粒子計數器檢測環境中的塵埃粒子，

確保工藝的精確性。2、G端封裝過程：在晶圓切割封裝過程中，粒子計數器同樣發揮著關鍵作用，保證封裝質量。3、 半導體設備生產工藝的質量監測：通過粒子計數器對設備工藝點進行監控，確保生產過程的穩定性和產品質量。

參考法規和標準：
粒子計數器嚴格遵守ISO 21501-4法規，并滿足ISO 14644-1（2015）潔凈室懸浮粒子測試方法的要求，適用于class 1至6級的潔凈室環境。
使用方法：
參照ISO14644-1（2015）法規的內容，針對不同潔凈度等級下監測粒徑的上限要求，通過法規內容的計算方法測算采樣點數及每個點采樣時間，

對儀器進行設定后，按照該方法進行逐個點位測試。

 

KANOMAX公司推出的超小型塵埃粒子計數器3950-00，同時監測0.1μm和0.3μm的單位體積內的微小粒子個數，也可作為傳感器嵌入生產設備實時監測作業現場的超微粒子，

為凈化作業環境的潔凈度評定提供依據，為芯片制造保駕護航！

 

Kanomax塵埃粒子計數器3950-00，DF性的技術革新，不僅將經典品質傳承，而且W美實現了嵌入組裝在半導體制造等裝置中。

 

既往產品尺寸難以嵌入半導體制造裝備中使用，本產品通過壓倒性的小型化，使傳感器嵌入設備中使用變為簡便易行。

 

致輕、致小，采樣量2.83L/min，同時測試0.1μm、0.3μm微小粒子，4.3英寸彩色觸摸屏顯示屏，可使用附帶軟件在PC上顯示測試數據。

設有RS-485、Ethernet、USB通訊接口。